Lam Research perkenal Coronus DX bagi memudahkan pembuatan semikonduktor wafer termaju

KUALA LUMPUR 6 Julai - Lam Research Corporation, pengeluar peralatan fabrikasi wafer Amerika Syarikat (AS) memperkenalkan Coronus DX iaitu pemendapan bevel yang pertama di dalam industri yang dioptimumkan untuk menangani cabaran utama pengeluaran wafer semikonduktor termaju.

Coronus DX merupakan lapisan proprietari filem pelindung pada kedua-dua bahagian wafer yang akan membantu mencegah kecacatan dan kerosakan yang sering berlaku semasa pembuatan semikonduktor lanjutan.

Produk itu disebut-sebut sebagai penyelesaian pemendapan serong pertama dalam industri yang dioptimumkan untuk menangani cabaran pembuatan utama dalam logik generasi akan datang, NAND 3D dan aplikasi pembungkusan lanjutan.

Menurut Lam Research, perlindungan berkuasa ini meningkatkan hasil dan membolehkan pembuat cip melaksanakan proses  baharu untuk pengeluaran cip generasi akan datang.

Coronus DX merupakan tambahan terbaharu kepada keluarga produk Coronus dan mengukuhkan kedudukan syarikat itu dalam teknologi bevel.

Timbalan Presiden Kanan Kumpulan Produk Global Lam Research, Sesha Varadarajan berkata, dalam era pembuatan cip 3D, pengeluaran adalah kompleks dan mahal.

“Membina atas kepakaran Lam dalam inovasi bevel, Coronus DX membantu memacu pembuatan yang lebih boleh diramal dan hasil yang lebih tinggi, membuka jalan kepada penerima pakai logik, pembungkusan dan proses pengeluaran 3D NAND lanjutan yang sebelum ini tidak dapat dilaksanakan,” katanya dalam satu nota kajian, hari ini.

Coronus DX boleh mendayakan struktur peranti baharu menerusi lapisan pemprosesan yang berulang yang boleh menyebabkan sisa dan kekasaran terkumpul di sepanjang pinggir wafer yang mungkin mengelupas, selain mencipta kecacatan yang menyebabkan peranti semikonduktor gagal.

Sebagai contoh, dalam aplikasi pembungkusan 3D, bahan daripada bahagian belakang boleh menjadi sumber pencemaran dalam pemprosesan masa hadapan serta boleh menjejaskan kualiti wafer.

Apabila kecacatan tersebut tidak dapat dihilangkan, Coronus DX menyimpan lapisan pelindung dielektrik nipis pada serong. Pemendapan yang tepat dan boleh dilaras ini membantu menyelesaikan isu biasa ini yang mungkin memberi kesan kepada kualiti semikonduktor.

Produk Coronus meningkatkan hasil wafer secara berperingkat, memberikan tambahan 0.2% hingga 0.5% kepada hasil pada setiap langkah goresan atau pemendapan, yang boleh mengakibatkan peningkatan sehingga 5% merentas aliran wafer.  - DagangNews.com